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石墨制品,作为支撑半导体材料成长的关键因素,其使用与发展也日益受到人们的重视。
高纯石墨制品在第三代半导体单晶成长设备中发挥着不可或缺的效果,它们常被用作碳化硅(SiC)单晶成长炉的石墨坩埚和石墨加热器,同时也在GaN外延成长的石墨基座以及抗高温烧蚀涂层石墨基座等方面得到广泛使用。
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