拉伸单晶和PBN坩场制造用石墨异形件加工

拉伸单晶和PBN坩场制造用石墨异形件加工拉伸单晶所用石墨异形件加工

石英蜡场制造用石墨坩场和超高纯石墨部件加工在Cz法拉伸单晶硅时使用石英坩蜗。石墨异形件加工石英坩期的制造工艺为在石墨模具内装人天然的水晶粉末（a-Si0,)，在旋转的同时利用离心力使粉末沿模具内壁附着，然后将多个高纯石墨异形件加工插入模具中利用电弧放电加热至大约2000℃，溶融粉末和内侧的粉末变化为溶融石英并透明，冷却后取出石英址锅，除去外部粉末即为制品。电极因放电而氧化消耗，由于电极放置在水晶粉末的上方，为不混入金属杂质需使用超高纯石墨。图2-52所示为石英坩塌制造装置的概略图。

PBN(热分解氮化硼）坩场制造用石墨异形件加工在拉伸单晶化合物时使用PBN坩塌。PBN坩场的制造工艺为，以加工成型的高纯石墨模具为基材，利用CVD法在其表面蒸镀BN。由于石墨的线膨胀系数比PBN的大，冷却后能容易取出PBN坩场。为了提高PBN的纯度，也要求使用高纯石墨异形件加工。