光纤维用高纯石墨制品的用途

光纤维用高纯石墨制品的用途光纤维用高纯石墨制品

（1）石英预制棒的制造用高纯石墨制品。作为光纤原料的石英预制棒是用VAD(Vapor-phase Axial Deposition)等方法制成的棒状原料。由于石英预制棒所含有的气泡可以造成拉丝光纤质量缺陷，所以有必要在1000℃以上加热，除去气泡，这种加热炉使用笼状石墨加热器。图2-49所示为其形状例，另外，为除去预制棒中影响透光率的OH基，需要在氯气中进行热处理，该处理炉中使用高纯石墨筒。图2-50所示为通过石墨模拉丝的光导纤维。

（2）光导纤维拉伸线炉用高纯石墨制品。光通信所使用的光导纤维的制造工艺为，将直径少50~100mm的高纯石英棒在Ar气体气氛及2000℃以上加热熔融，利用其重力下垂拉伸而生产4100um左右的纤维。在加热炉内大量使用石墨制品，如高纯石墨的加热器、均热用的炉芯管、排气管、保温筒以及用炭纤维制的保温材料。为了降低石英中杂质的混入量，都使用高纯材料。图所示为加热器形状的一例。

其他用途炭高纯石墨制品

本文主要说明制造半导体、通信和电子器械过程中所必要的间接部件及其他用途中使用的高纯石墨制品。