单晶石墨热场的性能优势
发布时间:2025-09-01 03:14:41
单晶石墨热场的功用优势
耐高温功用:石墨熔点达3650℃,可在真空或惰性气体环境中长期安稳作业。
导电与机械强度:抗压强度≥80MPa,兼具导电性与结构安稳性,适配大标准单晶炉(如36英寸以上硅棒出产)。
化学惰性:耐酸碱腐蚀,避免与熔融硅反响生成碳化硅杂质,保证单晶硅纯度。
本钱效益:等静压石墨代替传统钨钼加热器后,能耗下降30%,同时延长热场使用寿命,下降综合出产本钱。
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