单晶炉石墨热场的技术发展趋势和应用领域

单晶炉石墨热场的技能打开趋势和运用领域
技能打开趋势
    大标准化：支撑36英寸以上大直径硅棒出产，单炉投料量打破3000kg，前进产能。
    工艺优化：选用数控加工技能完成石墨件精度±0.05mm，减少热场装置应力，前进热场稳定性。
    材料晋级：等静压石墨成为干流材料，其高导热性和高纯度特性进一步满足半导体制造需求。
    单晶石墨热场首要运用于光伏职业，是单晶硅生长设备的核心部件。它直接影响单晶棒的成品率，对光伏工业的本钱操控和产能开释具有关键作用。此外，跟着半导体制造技能的快速打开，单晶石墨热场在半导体领域的运用也逐渐拓宽。