单晶石墨热场的关键部件

单晶石墨热场的要害部件
    石墨坩埚：一般选用三瓣式规划，防止硅液泄露，使用寿命可达30-50炉次。
    加热器：由等静压石墨制成，支撑2000℃以上安稳加热，为单晶成长供应足够热能。
    隔热体系：由多层石墨毡或碳纤维复合材料构成，热反射率≥90%，可下降能耗20%-30%。
    导流筒：优化热场气流散布，提高热场均匀性。
    维护部件：在炉底、金属电极、托杆等位置设置维护板或维护套，防止漏硅及机械损害。

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