单晶石墨热场的核心功能
发布时间:2025-09-01 02:58:54
单晶石墨热场的中心功能
单晶石墨热场是单晶硅成长设备中的中心热办理体系,它经过电能转化为热能,完结硅料熔融及晶体成长温度的精准操控,对单晶硅的质量、成品率和出产功率具有决定性影响。
高温熔融:在1414℃以上安稳熔化硅料,并保持单晶成长所需的温度梯度,保证晶体结构完整性。
热场均匀性:运用石墨的高导热性完结热量均匀分布,下降晶体缺陷率,前进单晶硅的质量。
污染防控:高纯度石墨资料可削减熔硅污染,满足半导体级硅资料对纯度的严格要求。
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