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单晶硅石墨热场,光伏石墨热场

 单晶硅石墨热场在单晶硅成长中虽占有重要地位,但存在易热震开裂、纯度操控难、大尺度成型受限、涂层易掉落、热场稳定性差等缺陷,具体分析如下:
      热震开裂危险:石墨在重复高温热震下易发生裂纹,导致部件破损乃至安全事故。例如,石墨加热器在高温下与SiO反应会缩短使用寿命,而裂纹的存在会改变热传导性能,影响拉晶功率和晶体质量。
      纯度操控应战:石墨件挥发的杂质或降解颗粒可能污染硅熔体,影响晶体品质。虽然高纯度石墨(纯度可达99.99%以上)可削减污染,但制备大直径产品时纯度要求更高,本钱也明显上升。
      大尺度成型受限:传统石墨热场在制备大直径产品时成型困难,且纯度要求高导致制备本钱高昂、生产环节多、周期长。例如,36英寸以上石墨热场零部件的制造本钱和加工本钱均较高。
      涂层易掉落问题:石墨资料与碳化硅的热膨胀系数不同,导致涂层简单掉落。而碳/碳复合资料与碳化硅的热膨胀系数接近,灰分更低,更适合作为热场资料。
      热场稳定性不足:石墨热场设计不合理时,对称性差且加热功率高,浪费能源。同时,热场梯度分布的稳定性直接影响单晶硅的成长质量,石墨热场在此方面表现欠佳。

 单晶硅石墨热场