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 高纯石墨烧结盘在多个要害范畴具有广泛应用,以下为详细应用场景:
电子和半导体制作:高纯石墨烧结盘用于半导体晶体生长、外延工艺和离子注入等制作工艺中。在晶体生长炉中,高纯石墨烧结盘作为加热器、坩埚、石墨保温筒等部件,支撑硅和碳化硅等晶体的生长。在外延工艺中,晶片承载在石墨盘上,其性能和质量对外延层质量至关重要。高纯石墨烧结盘还用于离子注入设备的飞行管、电极等部件,满意高纯度、耐热性和耐腐蚀性的要求。
航空航天范畴:高纯石墨烧结盘因其耐高温、高强度和轻质特性,被应用于航空发动机叶片制作等高温高压环境。其优异的热稳定性和化学慵懒,使其可以承受极点工况,延伸运用寿数。
新能源范畴:在固态电池中,高纯石墨烧结盘用于固态电解质,支撑电池的高性能和安全性。在钠电池中,它用于正负极资料的烧结环节,提高电池的能量密度和循环寿数。
陶瓷和玻璃制作:高纯石墨烧结盘作为高温承重件或反响坯体,用于陶瓷和玻璃的烧结进程。其高稳定性和化学稳定性,确保产品在高温下不变形、不污染,提高产品质量。
冶金范畴:高纯石墨烧结盘用于金属液体的制作和处理,如配合捣棒运用,进行金属的熔炼和浇铸。其耐高温和抗氧化性能,使其可以承受高温金属液体的侵蚀,保证生产进程的顺利进行。

高纯石墨烧结盘