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石墨热场的性能优势
耐高温性：石墨熔点达3650℃，可在真空或惰性气体环境中长期安稳工作，习惯极端高温条件。
化学安稳性：耐酸碱腐蚀，避免与熔融硅反应生成碳化硅杂质，满足半导体级硅材料纯度要求。
导热与机械强度：抗压强度≥80MPa，兼具导电性与结构安稳性，适配大尺寸单晶炉（如36英寸以上硅棒出产）。
本钱效益：石墨资源丰富，加工本钱低于钨钼等金属材料，且使用寿命长，降低概括出产本钱。