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真空炉石墨件加工的重要环节包括以下几个方面，这些环节直接影响产品的质量、功用和寿数：
1.材料挑选
    石墨纯度：高纯度石墨（如等静压石墨）具有更好的耐高温性、抗热震性和化学稳定性，适用于真空环境。
    密度与强度：依据运用需求挑选合适的石墨密度和机械强度，确保在高温文真空条件下不变形或开裂。
2.精细加工
    CNC加工：石墨较脆，需选用高精度数控机床（CNC）进行铣削、车削或钻孔，防止崩边或裂纹。
    表面光洁度：真空环境下表面粗糙度需严峻控制，以削减气体吸附和杂质开释。
    规范精度：确保加工后的石墨件与真空炉其他部件（如加热器、隔热屏）匹配，防止漏气或热场不均。
3.清洁处理
    去粉尘：加工后需彻底清除石墨粉尘（如用超声波清洗或高压气体吹扫），防止污染真空体系。
    高温烘烤：部分运用需预先高温处理石墨件，去除吸附的气体和挥发性杂质。
4.涂层或表面处理（可选）
    抗氧化涂层：如碳化硅（SiC）涂层，可进步石墨在高温下的抗氧化性。
    金属化处理：某些场景需在石墨表面镀金属（如钼、钨），以改进导电性或焊接功用。
5.质量检测
    规范检测：运用三坐标测量仪（CMM）或光学投影仪验证要害规范。
    气密性查验：关于密封部件，需进行氦质谱检漏等查验。
高温功用查验：仿照真空炉环境，检查石墨件的热稳定性和挥发物开释量。
6.设备与保护
    无污染设备：佩戴洁净手套操作，防止油脂或灰尘污染。
    定时检查：真空炉工作中需监控石墨件的氧化、裂纹或损耗情况，及时替换。
注意事项：
    防止机械冲击：石墨脆性高，搬运和设备时需轻拿轻放。
    环境控制：加工和存储环境应坚持单调，防止吸潮影响真空功用。
    经过严峻把控以上环节，可确保石墨件在真空炉中的可靠性和长寿数。详细工艺需依据真空炉类型（如单晶炉、烧结炉等）和用途调整。