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真空炉石墨配件在长期使用或不当操作下会产生蜕变，影响其功能和真空炉的正常运转。以下是石墨配件常见的蜕变体现及其原因分析：
1.外表氧化（发白、粉化）
    体现：石墨外表呈现白色或灰白色氧化层，质地疏松，易掉落。
    原因：真空度不足或漏气，导致氧气渗入高温区。
    炉内残留水蒸气或含氧杂质（如油污）在高温下与石墨反响（C+O2→ CO/CO2）。
    影响：导热性下降，机械强度下降，或许污染炉内资料。
2.裂纹或崩边
    体现：石墨件外表或内部呈现裂纹，边缘崩缺。
    原因：热应力冲击（如急速升温/降温）。机械应力（安装过紧或外力碰撞）。
石墨本身密度不均或存在内部缺点。
    影响：结构强度损失，或许导致漏气或加热不均。
3.外表孔洞或侵蚀
    体现：石墨外表呈现蜂窝状孔洞或局部凹陷。
    原因：高温下与金属蒸气（如铝、铜）反响生成碳化物。等离子体或离子轰击（在半导体设备中常见）。
    影响：加速氧化，缩短使用寿命。
4.变形（曲折、翘曲）
    体现：石墨件形状歪曲，无法与其它部件紧密配合。
    原因：长期高温下石墨产生蠕变（特别低密度石墨）。受热不均（如加热器功率散布不合理）。
    影响：损坏真空密封性，导致热场散布反常。
5.外表金属化或污染
    体现：石墨外表附着金属镀层或杂质沉积。
    原因：炉内金属资料蒸腾后冷凝在石墨上（如钼、钨）。工艺气体（如硅烷）分化沉积。
    影响：改动石墨的导电/导热功能，或许引发短路或污染产品。
6.电阻率反常升高
    体现：石墨加热器电阻增大，需更高电压驱动。
    原因：氧化导致有用导电截面积减小。高温下晶格结构改动（石墨化程度改动）。
影响：加热效率下降，能耗增加。
7.掉粉或颗粒掉落
    体现：石墨外表持续掉落细微颗粒。
    原因：低质量石墨（杂质多或密度低）。长期机械冲突（如石墨轴承磨损）。
    影响 ：污染炉膛，或许损坏真空泵或传感器。
怎么预防石墨蜕变
    操控真空环境：保证炉体密封性，维持高真空度。
    优化工艺参数：防止急速升降温，合理规划热场散布。
    定期保护：查看石墨件状况，及时替换老化部件。
    选用高功能石墨 ：如等静压石墨（高纯度、高密度）。
    涂层保护 ：抗氧化涂层（如SiC）可延长寿命。
蜕变石墨的处理建议
    轻微氧化或污染：可通过高温烘烤（真空或惰性气体环境）去除外表杂质。
    严重裂纹或变形：必须替换，否则或许引发安全事故。
    通过观察上述蜕变体现，可及时采取措施，保障真空炉的稳定运转和工艺质量。