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单晶石墨热场的功能优势
耐高温功能:石墨熔点达3650℃,可在真空或惰性气体环境中长期安稳工作。
导电与机械强度:抗压强度≥80MPa,兼具导电性与结构安稳性,适配大尺寸单晶炉(如36英寸以上硅棒出产)。
化学惰性:耐酸碱腐蚀,避免与熔融硅反响生成碳化硅杂质,保证单晶硅纯度。
成本效益:等静压石墨代替传统钨钼加热器后,能耗降低30%,同时延长热场使用寿命,降低综合出产成本。
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