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 真空炉石墨支架头的结构规划需统筹高温安稳性、机械强度、热均匀性和抗热震性,一起考虑设备便利性和运用寿数。以下是合理的结构规划要害及优化计划:
1.底子结构规划原则
(1) 资料挑选
高纯等静压石墨(密度≥1.80g/cm3):
低孔隙率、高热导率(80~120W/m·K),抗热冲击性强。
抗氧化涂层(可选):
表面涂覆SiC或ZrB2,削减高温氧化损耗。
(2) 几何形状优化
全体结构:圆柱形/锥形底座:确保与炉体接触面安稳,松散应力。
多段式规划:分段结构(如螺纹联接)下降热应力会合。
接触面规划:
凹槽/卡口:与被支撑工件(如石墨坩埚)匹配,防止滑动。
散热孔:对称开孔削减热阻,防止部分过热。
2.要害规划参数
(1) 标准匹配
直径与高度比(D/H):推荐1:1.5~1:2(过高易失稳,过矮散热差)。
壁厚:主体壁厚≥15mm(支撑高温负载时需≥20mm)。
(2) 热胀大补偿
空地预留:动态工况下,预留0.5~1mm胀大空地(防止热胀卡死)。
柔性联接:运用石墨纤维垫片或波纹结构吸收变形。
3.抗热震规划
(1) 防止尖角
圆角过渡(R≥5mm):悉数棱角处倒圆,削减应力会合。
骤变截面:截面改动区域选用滑润过渡(如锥度≤30°)。
(2) 热场均匀性
对称布局:多支架头时,圆周均布(如3~4个/组),确保热流对称。
热屏蔽规划:内部嵌入钼片或碳毡,反射辐射热(适用于>2000℃工况)。
4.机械强度验证
(1) 静态负载核算:安全系数≥3
(2) 动态振荡剖析
模态剖析:防止固有频率与炉体振荡频率重合(如50~100Hz)。
5.设备与保护优化
(1) 模块化规划
快拆结构:螺纹或卡扣联接,便于替换损坏部件。
标号对齐:符号设备角度,确保热场重复性。
(2) 保护友好性
自清洁斜面:接触面规划倾角(≥10°),防止积灰或金属堆积。
6. 推荐规划案例
锥形螺纹支架头 (适用于半导体设备):
原料:等静压石墨(IG-110)+SiC涂层。
结构:锥度1:5,M12螺纹联接,底部散热孔×4。
寿数:>2000小时@1600℃。
通过以上规划,石墨支架头可在高温、高负载工况下完成长寿数、低保护 的目标。实践运用中需结合热仿真(如ANSYS)和 实践工况检验 进一步优化。

真空炉石墨支架头