石墨舟的功用及整体质量对PECVD过程的影响

石墨舟的功用及整体质量对PECVD过程的影响
您的位置：网站首页 » 新闻快讯 » 石墨舟的功用及整体质量对PECVD过程的影响
实施硅片PECVD镀膜的器械除了设备外还需要一种支撑硅片的承载工具，管式PECVD采用石墨舟作为承载工具，板式PECVD则采用石墨框作为承载工具。


以管式机石墨舟为例，石墨舟即是承载体，也是电极，从电路角度上看，石墨舟实际上是一组并联体，任意两片舟片都是一组正、负极极板，在射频电压的左右下形成电场。

石墨舟.jpg

采用石墨作为承载工具具有以下特点：
1、石墨具有良好的导电性能，通过合适的排列方式可以建立起稳定的电场，使气体在电场的作用下得到电离，在被镀物上沉积出需要物质；


2、石墨具有良好的耐高温性能且热膨胀率非常小，在常温和高温状态下都能保持稳定的形体；


3、石墨的化学性质稳定，在无氧或真空状态下，即使在高温状态下也不会和镀膜物质产生化学反应，保证了沉积物的纯度。

信息来源：石墨舟

本文出自东莞市捷诚石墨制品有限公司官网：http://www.dgshimozhipin.com 权威发布，    东莞市捷诚石墨制品有限公司是一家集销售、应用开发，产品加工的石墨专业厂家，专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电极和相关的石墨制品，欢迎致电13549365158更多关于石墨制品方面信息，可回本网站产品页面详细了解点击：石墨制品  石墨模具  石墨坩埚 石墨转子 石墨轴承 石墨板 石墨棒 石墨匣体 石墨热场 真空炉石墨制品 电子石墨模具