石墨制品，作为支持半导体材料成长的关键因素

石墨制品，作为支撑半导体资料生长的关键因素，其运用与开展也日益遭到人们的注重。
高纯石墨制品在第三代半导体单晶生长设备中发挥着不可或缺的作用，它们常被用作碳化硅（SiC）单晶生长炉的石墨坩埚和石墨加热器，同时也在GaN外延生长的石墨基座以及抗高温烧蚀涂层石墨基座等方面得到广泛运用。

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