高纯石墨烧结盘在哪些领域有应用
发布时间:2025-06-21 11:36:29
高纯石墨烧结盘在多个要害范畴具有广泛应用,以下为具体应用场景:
电子和半导体制作:高纯石墨烧结盘用于半导体晶体生长、外延工艺和离子注入等制作工艺中。在晶体生长炉中,高纯石墨烧结盘作为加热器、坩埚、石墨保温筒等部件,支撑硅和碳化硅等晶体的生长。在外延工艺中,晶片承载在石墨盘上,其功用和质量对外延层质量至关重要。高纯石墨烧结盘还用于离子注入设备的飞行管、电极等部件,满足高纯度、耐热性和耐腐蚀性的要求。
航空航天范畴:高纯石墨烧结盘因其耐高温、高强度和轻质特性,被应用于航空发动机叶片制作等高温高压环境。其优异的热稳定性和化学慵懒,使其可以接受极点工况,延伸运用寿数。
新能源范畴:在固态电池中,高纯石墨烧结盘用于固态电解质,支撑电池的高功用和安全性。在钠电池中,它用于正负极资料的烧结环节,前进电池的能量密度和循环寿数。
陶瓷和玻璃制作:高纯石墨烧结盘作为高温承重件或反应坯体,用于陶瓷和玻璃的烧结进程。其高稳定性和化学稳定性,保证产品在高温下不变形、不污染,前进产品质量。
冶金范畴:高纯石墨烧结盘用于金属液体的制作和处理,如协作捣棒运用,进行金属的熔炼和浇铸。其耐高温和抗氧化功用,使其可以接受高温金属液体的侵蚀,保证出产进程的顺利进行。
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